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Document IIF

Development of non-flammable mixed refrigerant Joule-Thomson refrigerator for semiconductor etching process.

Développement d’un réfrigérateur Joule-Thomson à frigorigènes mixtes non inflammables pour le processus de gravure des semi-conducteurs.

• Auteurs : LEE C., LEE J. G., KIM J. M., CHA D. A., KIM S. C., YOO W. J., KIM H. J., KIM S. S., HONG J. G.
• Date d'édition : 21/08/2023
• Langues : Anglais
• Mots-clés : Système en cascade, Mélange, Argon, R14, R23, R218, Basse température, Cycle thermodynamique, Système biétage, Simulation, COP, Capteur, Experimentation, Semi-conducteur, Conception, Cryodécapage, Joule-Thomson
• Source : Proceedings of the 26^th IIR International Congress of Refrigeration: Paris , France, August 21-25, 2023.
• Formats : PDF